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        日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺(tái)

        日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺(tái) MVXA05A-R102
        1.真空兼容自動(dòng)X平臺(tái),采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌。
        2.進(jìn)給方式采用高分辨率磨削螺桿。
        3.采用真空對(duì)應(yīng)5相步進(jìn)電機(jī)。

        • 產(chǎn)品型號(hào):MVXA05A-R102
        • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
        • 更新時(shí)間:2024-10-10
        • 訪  問  量:392
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        日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺(tái) MVXA05A-R102

        注釋/特點(diǎn)

        1.真空兼容自動(dòng)X平臺(tái),采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌。

        2.進(jìn)給方式采用高分辨率磨削螺桿。

        3.采用真空對(duì)應(yīng)5相步進(jìn)電機(jī)。

        機(jī)械規(guī)格

        模型  MVXA05A-R102

        桌面  50毫米×50毫米

        指導(dǎo)方法  精密交叉滾子導(dǎo)軌

        移動(dòng)范圍  ±7.5毫米

        飼養(yǎng)方法  接地螺絲,導(dǎo)程0.5mm

        分辨率全/半  1μm/0.5μm

        分辨率 微步(1/20 格)  0.05μm

        最大速度  2.5毫米/秒:半5kpps

        累計(jì)導(dǎo)程誤差  ≤6μm/15mm

        重復(fù)定位精度  ≤±0.5μm

        失去運(yùn)動(dòng)  ≤1μm

        水平真直度  ≤1μm/15mm

        垂直真直度  ≤1μm/15mm

        反彈  ≤1μm

        力矩剛度  0.31 弧秒/N?cm

        水平承載能力  49N(5公斤力)

        材質(zhì)  鋁合金

        自重  0.66公斤

        日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺(tái) MVXA05A-R102

        注釋/特點(diǎn)

        1.真空兼容自動(dòng)X平臺(tái),采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌。

        2.進(jìn)給方式采用高分辨率磨削螺桿。

        3.采用真空對(duì)應(yīng)5相步進(jìn)電機(jī)。

        機(jī)械規(guī)格

        模型  MVXA05A-R102

        桌面  50毫米×50毫米

        指導(dǎo)方法  精密交叉滾子導(dǎo)軌

        移動(dòng)范圍  ±7.5毫米

        飼養(yǎng)方法  接地螺絲,導(dǎo)程0.5mm

        分辨率全/半  1μm/0.5μm

        分辨率 微步(1/20 格)  0.05μm

        最大速度  2.5毫米/秒:半5kpps

        累計(jì)導(dǎo)程誤差  ≤6μm/15mm

        重復(fù)定位精度  ≤±0.5μm

        失去運(yùn)動(dòng)  ≤1μm

        水平真直度  ≤1μm/15mm

        垂直真直度  ≤1μm/15mm

        反彈  ≤1μm

        力矩剛度  0.31 弧秒/N?cm

        水平承載能力  49N(5公斤力)

        材質(zhì)  鋁合金

        自重  0.66公斤



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