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        otsukael積分光度計

        otsukael積分光度計除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。

        • 產品型號:SLS-6500HL
        • 廠商性質:經銷商
        • 更新時間:2025-06-26
        • 訪  問  量:4395
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          otsukael靜態光散射光度計 積分光度計SLS-6500HL的介紹
         
          除了可以進行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實現自動可變測量角度機構來兼容所有類型的薄膜。除了傳統的旋轉分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機構提高了測量精度。
         
          特征:
         
          可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長范圍內測量橢圓參數
         
          能夠分析納米級多層薄膜的膜厚
         
          通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
         
          支持通過可變反射角測量對薄膜進行詳細分析
         
          通過創建光學常數數據庫和添加配方注冊功能提高可操作性
         
          測量項目
         
          橢圓參數(tanψ,cosΔ)測量
         
          光學常數(n:折射率,k:消光系數)分析
         
          膜厚分析
         
          測量對象
         
          半導體ウェーハ
         
          ゲート酸化薄膜,窒化膜
         
          SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
         
          レジストの光學定數(波長分散)
         
          化合物半導體
         
          AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコン
         
          FPD
         
          配向膜
         
          各種新素材
         
          DLC(Diamond Like Carbon),超伝導用薄膜,磁気ヘッド薄膜
         
          光學薄膜
         
          TiO2,SiO2,反射防止膜
         
          リソグラフィー分野
         
          g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長におけるn,k評価
         
         
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