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otsukael光譜干涉式晶圓測厚儀SF-3的介紹OPTM 是一種通過使用顯微鏡光譜測量微小區域的絕對反射率來實現高精度薄膜厚度和光學常數分析的設備。各種薄膜、晶圓、光學材料等鍍膜、多層膜厚度的無損、非接觸測量。可以進行1秒/點的高速測量。此外，它配備了軟件，即使是初次使用的用戶也可以輕松分析光學常數。。
產品型號：SF-3廠商性質：經銷商更新時間：2023-04-14訪 問 量：1073
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otsukael光譜干涉式晶圓測厚儀SF-3的介紹
otsukael光譜干涉式晶圓測厚儀SF-3的介紹
OPTM 是一種通過使用顯微鏡光譜測量微小區域的絕對反射率來實現高精度薄膜厚度和光學常數分析的設備。
各種薄膜、晶圓、光學材料等鍍膜、多層膜厚度的無損、非接觸測量。可以進行1秒/點的高速測量。此外，它配備了軟件，即使是初次使用的用戶也可以輕松分析光學常數。。
膜厚測量所需的功能集成在測量頭中
使用顯微光譜法進行高精度絕對反射率測量（多層膜厚度、光學常數）
每點1秒以內的高速測量
實現顯微鏡下寬測量波長范圍（紫外到近紅外）的光學系統
區域傳感器安全機制
一個簡單的分析向導，即使是初次使用的用戶也可以進行光學常數分析
配備可自定義測量順序的宏功能
也可以分析復雜的光學常數（多點分析法）
300mm載物臺兼容
能夠從低亮度到高亮度進行高速、高精度測量的光譜輻射亮度計。
使用電子冷卻線性陣列傳感器，的光譜設計和信號處理電路在寬亮度范圍和波長范圍內實現了低噪聲、高精度測量。
| - 輻射 (W/sr/m 2 ) | - 色域（NTSC 比例）*1 |
| - 亮度 (cd/ m2 ) | - 反應速度*2 |
| - 色度坐標 xy [符合JIS Z8724 ] | - 亮度 (J) *3 |
| - 色度坐標 U'V' [符合JIS Z8781-5 ] | - 亮度 (Q) *3 |
| - 相關色溫 | - 飽和度 (s) *3 |
| - CIE 顏色系統 2°/10° | - 色度 (C) *3 |
| - 三刺激值 XYZ | - 色彩度（M）*3 |
| - 偏差 | - 等效亮度值*4 |
| - 光譜數據的四種算術運算 | |
| - 光譜數據的功能處理 |
LCD、PDP、有機EL、大尺寸LED視覺等顯示器件的
光譜數據、亮度、色度、相關色溫測量
照明光源（如燈）的光譜數據、亮度、色度和相關色溫的測量
作為各種亮度和色度測量儀器的標準
物體的非接觸式顏色測量
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