服務(wù)熱線：15766191432產(chǎn)品到哪里，服務(wù)到哪里 !
products category
Related articles
f-tech專門研究工業(yè)用過濾器是專業(yè)制造商 滿足多樣化需求
2024-06-11 GM系列旋轉(zhuǎn)式手動(dòng)絞車特點(diǎn)
2023-04-27 O-FLEX™工業(yè)材料、工具和零配件標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械零件O形密封圈Technetics 的應(yīng)用
2024-07-12 應(yīng)對高硬度材料：增幸粉碎機(jī)在SiC粉碎中的技術(shù)突破
2025-08-22 2023-04-25 產(chǎn)品中心/ products
通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。ulvac-kiko真空泵 油回轉(zhuǎn)泵 螺桿型干泵HR90/HR60/HR1200
產(chǎn)品型號(hào)：HR90/HR60/HR1200廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2023-04-11訪 問 量：878
立即咨詢
聯(lián)系電話：
| 品牌 | 其他品牌 | 性能 | 耐腐蝕 |
|---|---|---|---|
| 材質(zhì) | 其他 | 驅(qū)動(dòng)方式 | 其他 |
| 流量 | 01m3/h |
ulvac-kiko真空泵 油回轉(zhuǎn)泵 螺桿型干泵HR90/HR60/HR1200
ulvac-kiko真空泵 油回轉(zhuǎn)泵 螺桿型干泵HR90/HR60/HR1200
通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。
特點(diǎn)
高溫區(qū)域均熱化
實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。
CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等
| 型號(hào) | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | ||||
| 使用泵 | 干式真空泵 | UR421-T | UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T | |||
| 機(jī)械增壓泵 | - | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C-T | ||||
| 最大 排氣速度 | 50Hz | 410 m3/h (6833 L/min) | 653 m3/h (10883 L/min) | 1012 m3/h (16867 L/min) | 1701 m3/h (28350 L/min) | 2700 m3/h (45000 L/min) | |||
| 到達(dá)壓力 | 5.0 Pa | ||||||||
| 最大排氣壓力（吸入圧力） | 大氣壓 | ||||||||
| 最大排氣口壓力 （排出圧力） | 1.0~ 大氣壓 Pa | ||||||||
| 吸氣口 (CE規(guī)格) | VG100 | VG80(NW80) | VG100(NW100) | VG150(NW100) | VG150 | ||||
| 排氣口 | VG50 | NW40 | NW50 | ||||||
| 質(zhì)量 | 415 kg | 370 kg | 403 kg | 553 kg | 720 kg | ||||
| 電源 *2 | 三相 | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | 200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz) | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | |||||
| 電流值 | 穩(wěn)定時(shí) | 23 A(at 200V) | 16.4 A(at 200V) | 18.9 A(at 200V) | 29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | |||
| 最大值 | 52.5 A(at 200V) | 17.3 A(at 200V) | 22. 4 A(at 200V) | 34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | ||||
| 冷卻水一次壓力 | 0.2~0.5 Mpa | 0.1~0.3 Mpa | 0.2~0.5 Mpa | ||||||
| 冷卻水出入口壓差 | >0.2 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.2 Mpa | ||||
| 冷卻水流量 | >5.0 L/min | ||||||||
| 吹掃氣 | 一次壓力 | 0.1~0.5 Mpa | |||||||
| 二次壓力 | 0.05~0.1 Mpa | ||||||||
| N2吹掃 | 軸 | 5 SLM | |||||||
| 氣鎮(zhèn) | 0~195 SLM | 0~45 SLM | 0~195 SLM | 0~195 SLM | |||||
掃一掃
您的位置：
在線咨詢
返回頂部