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更新時間：2025-11-14 
瀏覽次數(shù)：22防塵防水型： 通常達到 IP防護等級，例如IP65或更高。這意味著它能完的全防止粉塵進入，并能承受來自各個方向的低壓水柱噴射。這對于半導體潔凈室環(huán)境或需要頻繁清潔的區(qū)域至關重要。
IP65含義： “6"代表完的全防塵；“5"代表防噴水。
重量級： 這有兩層含義：
指其稱量容量較大，通常在數(shù)公斤至數(shù)十公斤范圍，屬于大稱量精密天平。
也暗指其產(chǎn)品在行業(yè)內(nèi)的重要地位和高可靠性。
分銅內(nèi)藏型： 這是最關鍵的特性。“分銅" 在日語中就是 “砝碼" 的意思。“分銅內(nèi)藏型" 即指 “內(nèi)置校準砝碼" 。
功能： 天平內(nèi)部內(nèi)置了一個或多個高精度、機械驅(qū)動的標準砝碼。
操作： 用戶可以通過按鍵或定時功能，啟動天平的自動內(nèi)部校準。機械裝置會將內(nèi)置砝碼放下，對天平進行校準，完成后收回。
這種高等級天平在半導體工廠中主要用于對精度和可靠性要求極的高的環(huán)節(jié)：
化學溶液配制
應用： 精確稱量光刻膠、CMP漿料、蝕刻液、清洗劑等高純度化學品的原料。
重要性： 溶液的濃度和配比直接影響光刻精度、蝕刻速率和晶圓表面質(zhì)量，稱量的微小誤差可能導致整批產(chǎn)品報廢。
CMP工藝
應用： 稱量CMP漿料中的固體顆粒、氧化劑等關鍵組分。
重要性： 確保漿料的研磨率和選擇性，保證晶圓全局平坦化效果。
薄膜沉積（CVD/ALD）
應用： 稱量某些前驅(qū)體化學品的重量，用于監(jiān)控使用情況或配制溶液。
重要性： 確保氣相沉積過程的穩(wěn)定性和薄膜質(zhì)量。
內(nèi)置校準砝碼 - 核心優(yōu)勢
確保測量溯源性與準確性： 內(nèi)置砝碼通常可追溯至國際質(zhì)量標準（如NMIJ），確保校準的權的威性和準確性。
極的高的便利性與效率： 無需人工尋找、拿取外部砝碼，避免了砝碼污染、損壞和丟失的風險。可以一鍵校準，或設定定時自動校準（如每4小時一次），確保天平始終處于最佳狀態(tài)。
維持潔凈室環(huán)境： 避免了外部砝碼帶入污染物，是維持潔凈室等級的關鍵設計。
高防護等級
防塵： 完的全防止稱量物品（如粉末、顆粒）進入天平內(nèi)部，保證長期穩(wěn)定運行。
防水： 耐受清潔時的化學品噴淋或酒精擦拭，便于進行徹的底的潔凈處理。
高精度與穩(wěn)定性
采用高質(zhì)量傳感器，具有良好的線性、重復性和溫度穩(wěn)定性，即使在環(huán)境略有波動時也能提供可靠數(shù)據(jù)。
針對地面振動和空氣流動等干擾進行了優(yōu)化設計。
符合法規(guī)與質(zhì)量控制要求
內(nèi)置校準功能、數(shù)據(jù)存儲和輸出接口，非常便于滿足GMP、ISO9001等質(zhì)量管理體系的要求，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的完整性和可追溯性。
用戶友好設計
大型、清晰的顯示屏，便于讀取數(shù)據(jù)。
堅固耐用的外殼和稱量盤，適應工業(yè)環(huán)境。
豐富的通信接口（如RS-232、以太網(wǎng)），可輕松連接打印機或?qū)嶒炇倚畔⒐芾硐到y(tǒng)。
我們可以將這三個日本儀器在半導體制造中的作用聯(lián)系起來看：
KEM S-AERD（放射率計）： 在 “研發(fā)與參數(shù)設定" 階段，負責測量材料的基礎物理屬性（發(fā)射率），為測溫提供輸入。
HORIBA IT-545（輻射溫度計）： 在 “工藝過程控制" 階段，作為產(chǎn)線的“眼睛"，實時監(jiān)測 最關鍵的過程變量——溫度。
A&D GX-L（電子天平）： 在 “原材料準備與質(zhì)量控制" 階段，作為精密的“秤"，精確測量 投入物料的質(zhì)量，確保配方準確。
總結(jié)
日本A&D的 GX-L系列“分銅內(nèi)藏型"電子天平 是半導體等高技術產(chǎn)業(yè)中物料稱量環(huán)節(jié)的可靠性基石。其內(nèi)置校準功能 和高防護等級 的設計，完的美地解決了半導體制造中對測量準確性、操作效率和潔凈室兼容性的極的致要求，是保障前端化學品制備質(zhì)量的關鍵設備。
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