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        ADTEC Plasma Technology高周波射頻電源TXR、AX系列的產(chǎn)品介紹

        更新時間:2024-05-21      瀏覽次數(shù):472

        ADTEC Plasma Technology 產(chǎn)品

        高周波射頻電源
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        • 設計可承受高反射高耐用的具有高信賴度的產(chǎn)品

        • 提供降低成本的產(chǎn)品

        • 安裝了最新的CPU
          (高速響應性能UP)

        • 支持新的通訊方式
          (可對應EtherCAT)


        自動匹配阻抗設備
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        • 可實現(xiàn)高速自動整合

        • 監(jiān)視史密斯圓圖上的腔室阻抗

        • 使用專用軟件實時顯示,
          行波,反射波電力功率等

        IDX產(chǎn)品

        直流電源
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        • 可在一臺電源上實現(xiàn)多種輸出模式
          可實現(xiàn)可變Duty的雙極輸出
          可實現(xiàn)直流及直流脈沖方式輸出

        • 搭載高速電弧遮斷功能


        微波電源
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        • 應用于等離子處理設備

        • 不受高電壓及振動部產(chǎn)生的散熱影響,并且設置環(huán)境也適合廣大范圍 



        • TXR,TXL,TXM,TXH系列

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          AX系列

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          • 可承受高反射的AB類線性AMP
            高可靠性和高耐用性設計

          • 對應300W~30kW

          • 安裝了最新的CPU
            (高速響應性能UP)

          • 支持新的通訊方式
            (可對應EtherCAT)

          • 300W~對應



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