英國 Michell Pura 高純氣體露點(diǎn)變送器高純氣半導(dǎo)體制造等應(yīng)用

更新時(shí)間：2024-04-18

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英國 Michell Pura 高純氣體露點(diǎn)變送器高純氣半導(dǎo)體制造等應(yīng)用

露點(diǎn)變送器 - Michell Pura

高純氣體露點(diǎn)變送器

特點(diǎn)

測(cè)量范圍低可達(dá) -120°Cdp (1ppbV)

穩(wěn)定而可重復(fù)的測(cè)量

模擬和數(shù)字輸出

安裝簡(jiǎn)單

VCR 過程連接

可選的顯示/報(bào)警單元

設(shè)計(jì)緊湊

快速響應(yīng)

可選危險(xiǎn)區(qū)域認(rèn)證

校準(zhǔn)更換服務(wù)

這款小巧的變送器擁有堅(jiān)固而獨(dú)立的傳感器，用來測(cè)量高純氣體中的微量水分含量。

Pura使用和安裝簡(jiǎn)單，可選兩線制、三線制和危險(xiǎn)區(qū)域的型號(hào)，是一款完的全可自定義的產(chǎn)品，可以滿足各種特殊需求。

規(guī)格

傳感器
傳感器類型	密析爾先進(jìn)的金屬氧化物陶瓷濕度傳感器
量程	-120 - -40°Cdp (校準(zhǔn)范圍 -100 - -40°C)
精度	±1°C -40 ~ -60°Cdp ±2°C -60 ~ -100°Cdp ±4°C -100 ~ -120°Cdp (估計(jì))
工作壓力	最小 10-7 Pa (10-9 torr) 最大 24 MPa (240 barg)
工作溫度	-40 ~ +60°C
流量速率	1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源	標(biāo)稱電壓 24 V DC, 10-28 V DC 最大電流 25 mA 2或3線制配置
輸出	PUR-TX-2W: 4 ~ 20mA 2線制 PUR-TX-3W: 4~ 20mA 3線制僅PUR-AOL-SEN : 數(shù)字 (RS485)
顯示電纜	PUR-OL & PUR-IS-OL: 2m (標(biāo)準(zhǔn)) / 5 or 10m (可選) PUR-AOL: 2m (標(biāo)準(zhǔn)) / 5 or 10m (可選)
機(jī)械l
傳感器模塊	高級(jí)版和 OEM 版: 冷拔不銹鋼, 0.1 - 0.2 Ra µm 內(nèi)部電拋光
壓力連接	高級(jí)版和 OEM 版: ¼" VCR 公頭連接 Pura 傳感器: ½" VCR 公頭連接
安裝配置	高級(jí)和 OEM 版: 120mm 間距, 通過氣體端口密封管道要求零間隙 2 個(gè) M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 對(duì)角線 20 x 20mm 間隙 Pura 傳感器: 適合 ½" VCR 接口
外形尺寸	高級(jí)版和 OEM 版: 120 x 35 x 150mm (w x d x h) Pura 傳感器: 132 x Ø35mm
重量	高級(jí)版和 OEM 版: 450g Pura 傳感器: 180g
包裝	Pura 高級(jí)版: 雙層包裝和 UHP 惰性氣體密封 Pura OEM & Pura 傳感器: 單層包裝與 1000 gauge聚乙烯所有選項(xiàng): 單獨(dú)裝運(yùn)，有海綿和紙箱保護(hù) Pura傳感器表面有防護(hù)罩來防止運(yùn)輸和裝卸時(shí)的損壞
更換服務(wù)	可用Pura 傳感器 (SEN) ½" VCR 連接
顯示	高級(jí)版在線顯示: PUR-AOL	在線顯示: PUR-OL
測(cè)量單位	°F, °Cdp; ppmV 和 ppbV 用戶可選量程和分辨率	由兩線制傳感器輸入定義的簡(jiǎn)單顯示
二次測(cè)量變量	通過外部傳感器的壓力 0-30 MPa (300 variable barg) 用戶可以完的全自定義任何行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)傳感器自動(dòng)補(bǔ)償 ppmV 和 ppbV	PUR-TX-2W & PUR-IS-2W 沒有管線壓力校正輸入 ppmV
電源	通用 85 ~ 265 V AC; 95 ~ 370 V DC	100~ 240 V AC (+10, -15%) 50/60 Hz
防護(hù)等級(jí)	IP54 (NEMA 12); IP66 (NEMA 4X) 僅適用于帶可選蓋的前面板	IP65 前面板 (IP20 后面板)
工作溫度	0 ~ +50°C	0 ~ +50°C
繼電器	2 個(gè) 10 A / 240 V c/o 用戶可完的全配置: 可適應(yīng)所選設(shè)備的所有量程 + 傳感器故障報(bào)警功能	報(bào)警 1 繼電器: 單級(jí)接觸, 額定 3 A @ 250 V AC 報(bào)警 2 繼電器: 轉(zhuǎn)換觸點(diǎn), 額定 5 A @ 250 V AC
顯示分辨率	5 位	4 位
輸出: 模擬	4-20 mA 用戶可完的全自定義和可擴(kuò)展量程	0-20 或 4-20 mA 用戶可完的全自定義和可擴(kuò)展量程
輸出: 數(shù)字	RS232: 提供雙通道通信 -用戶可完的全數(shù)字訪問和所有設(shè)置選項(xiàng)的可用性	RS232: 提供雙通道通信 - 用戶可完的全數(shù)字訪問和所有設(shè)置選項(xiàng)的可用性
選項(xiàng)
電源	18 ~ 36 V AC; 9 ~ 60 V DC	24 V DC
繼電器	1 或 2 路 5 A 繼電器 (最多 4 路) n/o 類型用戶可完的全自定義: 可適應(yīng)所有量程 + 全部設(shè)備可選 + 傳感器故障報(bào)警功能	1 路繼電器可選 - 參考工廠
輸出: 模擬	0-10 V 用戶可完的全自定義和可擴(kuò)展量程	0 ~ 10 V 輸出采用 500 Ω 并聯(lián)電阻
輸出: 數(shù)字	RS485

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