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        技術文章/ article
        
        
         您的位置：首頁  -  技術文章  -  KLA Corporation FILMETRICS F30 系列 監控薄膜沉積，最的強的有力的工具 
        
        
        
      
        
      
        
        	
        KLA Corporation FILMETRICS F30 系列 監控薄膜沉積，最的強的有力的工具
        
            
        更新時間：2024-04-13      瀏覽次數：478
        
            
        
            	 
        KLA Corporation FILMETRICS F30 系列 監控薄膜沉積，最的強的有力的工具
        在線厚度測量系統
        監測控制生產過程中移動薄膜厚度。高達100 Hz的采樣率可以在多個測量位置得到
        F30 系列

        監控薄膜沉積，最的強的有力的工具
        F30 光譜反射率系統能實時測量沉積率、沉積層厚度、光學常數 (n 和 k 值) 和半導體以及
        電介質層的均勻性。


        樣品層
        分子束外延和金屬有機化學氣相沉積: 可以測量平滑和半透明的，或輕度吸收的薄膜。 這實
        際上包括從氮化鎵鋁到鎵銦磷砷的任何半導體材料。
        image.png
        各項優點:
        • 極大地提高生產力
        • 低成本 —幾個月就能收回成本
        • A精確 — 測量精度高于 ±1%
        • 快速 — 幾秒鐘完成測量
        • 非侵入式 — 完的全的沉積室以外進行測試
        • 易于使用 — 直觀的 Windows™ 軟件
        • 幾分鐘就能準備好的系統
        型號規格
        *取決于薄膜種類
        型號
        		厚度范圍*波長范圍
        F3015nm-70µm380-1050nm
        F30-EXR15nm - 250µm380-1700nm
        F30-NIR100nm - 250µm950-1700nm
        F30-UV3nm-40µm190-1100nm
        F30-UVX3nm - 250µm190-1700nm
        F30-XT0.2µm - 450µm1440-1690nm

        
            
        
         	
                                            
        
        
      
      
    
        
  
        

        

 



        
  
        
    
    
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