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更新時間：2024-01-04 
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不同的因素可以影響超聲/兆聲波過程中空化能量的強度，例如液體的表面張力或從基板到換能器的距離。
然而，最關(guān)鍵的因素是聲波的頻率。
在典型的超聲波清洗過程中，傳感器的工作頻率在25 kHz和100 kHz之間。這種較低的頻率會產(chǎn)生直徑達
150µm的較大氣泡，并在破裂時產(chǎn)生較高的空化能量。兆聲波處理利用頻率從400千赫到5兆赫。這些更高
的頻率產(chǎn)生更小的氣泡，當(dāng)它們破裂時，產(chǎn)生的空化能量也相應(yīng)減少。超聲清洗過程中產(chǎn)生的高空化能會
破壞基體的敏感結(jié)構(gòu)。由兆聲波產(chǎn)生的更溫和的清潔能源能夠去除納米范圍內(nèi)的顆粒，而不會損壞敏感設(shè)
備。
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