PIE SCIENTIFIC 研究實驗室自動臺式等離子清潔器 Tergeo Plasma Cleaner

更新時間：2023-11-14

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用于研究實驗室和小批量生產(chǎn)的自動臺式等離子清潔器

Laboratory Plasma Cleaner for PDMS bonding, photoresist descum, sample surface cleaning, 2D materials research

典型應(yīng)用:

引線接合、倒裝芯片底部填充、器件封裝和解封裝
用于碳質(zhì)污染物去除和氧化物還原的SEM/TEM樣品清潔
生物醫(yī)用涂層前的表面處理及提高醫(yī)用植入物的親水性
環(huán)氧樹脂粘合前的光學(xué)、玻璃和基板清潔
光刻膠灰化、去渣和硅晶片清洗
PDMS、微流體、載玻片和芯片實驗室
金屬與金屬或復(fù)合材料改進(jìn)結(jié)合
塑料、聚合物和復(fù)合材料改進(jìn)粘合

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特點:

德國萊茵TV認(rèn)證并確認(rèn)
UL、獨立選舉委員會和加空局
61010-1安全標(biāo)準(zhǔn)。
NRTL
順從！
清洗模式:直接模式和下游模式。用于兩種等離子體清洗模式的雙等離子體源。用于高速蝕刻和表面改性的直接模式等離子體清洗:遠(yuǎn)程/下游模式等離子體清洗，用于溫和去除表面污染物，例如SEM/TEM樣品清洗。
連續(xù)和脈沖等離子體。脈沖比可以從100%(連續(xù))變化到小于1%。Tergeo等離子體系統(tǒng)不僅能以1瓦的間隔調(diào)節(jié)射頻功率，還能產(chǎn)生連續(xù)的脈沖等離子體。改變等離子體強度幾個數(shù)量級以上。
操作方法:自動配方執(zhí)行；自動作業(yè)序列執(zhí)行；人工操作。
等離子體傳感器:雙等離子體強度傳感器(專的利的申請中)監(jiān)控原位等離子體源和遠(yuǎn)程等離子體源。等離子體強度實時顯示在LCD觸摸屏上。
先進(jìn)的過程控制功能:壓力傳感器、溫度傳感器、MFC中的氣體流量計、雙等離子體強度傳感器、自動阻抗匹配。
腔室材料:鋁法蘭和厚壁高純度石英管增強了耐化學(xué)性，減少了耐熱玻璃中的堿性雜質(zhì)(鈣、鉀、鈉)。
石英腔尺寸:內(nèi)徑:110mm外徑:120mm深度280毫米
樣品架:2mm厚的高純度石英板
rf天線:外部RF電極和天線設(shè)計減少了在具有內(nèi)部金屬電極的等離子體清潔器中發(fā)現(xiàn)的金屬濺射問題。
射頻電源:13.56MHz高頻射頻電源，自動阻抗匹配，用于原位等離子體源。射頻功率有0-75瓦和0-150瓦兩種選擇，間隔1瓦。13.56MHz射頻電源產(chǎn)生的等離子體密度比KHz電源高得多。
氣體輸入:最多三個質(zhì)量流量控制氣體輸入(0~100sccm)。一個用于通風(fēng)和吹掃的附加端口。英制世偉洛克壓縮接頭連接器。
用戶界面:7英寸電阻觸摸屏，用手指觸摸，無需手寫筆。
食譜和工作支持:總共20個可定制的食譜。作業(yè)序列中最多三個清洗步驟。

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