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更新時間：2023-10-09 
瀏覽次數：5165000系列發生器結合了最新半導體技術和傳感器技術，性能優異，十分便于使用。它可對等離子放電室內的壓力，電流、電壓和頻率等進行集成式模擬監控，并可對等離子體發出的光進行分析，從而獲得最高程度的工藝可靠性。設備采用用戶界面友好的觸摸屏操控，和上下游設備進行控制聯動所需的通信模塊集成在內。
典型應用
集成到成套生產系統中
可在苛刻的運行環境中多班制高負荷運行
需要集成工藝監控及全面系統通訊功能的工業應用
支持機器人系統的集成
數字高頻等離子體發生器，采用集成的微處理控制器進行系統和功率的控制
通過觸摸屏控制面板來顯示狀態和故障信息，并實現符合人機工程學的操作
集成維護手冊
功率輸出: 2kVA (FG5002) 驅動4把等離子噴槍或5kVA (FG5005)驅動8把等離子噴槍
電源電壓 3x 400V
使用環境溫度: 0-40 °C
發生器電氣柜的易維護設計
全面的工藝監控功能，實現最高程度的工藝可靠性和可重復再現性
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